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反光特性:對(duì)于反光強(qiáng)烈的電子芯片,應(yīng)選擇能夠減少反光影響的光源.同軸光源能夠提供明亮背景上的黑色特征,適合反光厲害的平面物體檢測(cè),能夠加強(qiáng)有差異角度的表面特征,增強(qiáng)表面紋理(劃痕、凹陷、壓印),減少陰影。
缺陷檢測(cè):如果檢測(cè)目標(biāo)是芯片表面的微小缺陷,如劃痕或破損,可以選擇高亮點(diǎn)光源,這種光源提供高亮度、高均勻性,有助于清晰呈現(xiàn)芯片輪廓
特征識(shí)別:對(duì)于需要識(shí)別芯片上的二維碼或字符,同軸光源能夠?qū)Ψ垂馄矫娉上窬鶆?亮度高,兼容多種特征識(shí)別.
對(duì)位和測(cè)量:晶圓視覺(jué)對(duì)位可能需要組合光源,利用圓頂光源凸顯定位特征點(diǎn),使用同軸光源補(bǔ)光,解決暗影區(qū),組合光源的均勻性好,結(jié)構(gòu)架設(shè)方便.
光源的均勻性:光源的均勻性要好,在有效的照射范圍內(nèi),灰度值標(biāo)準(zhǔn)差要小.
光譜范圍:具有較寬的光譜范圍,可以對(duì)不同材料的物體進(jìn)行檢測(cè).
光照強(qiáng)度:光照強(qiáng)度要足夠,提高信噪比,利于圖像處理.
使用壽命及穩(wěn)定性:具有較長(zhǎng)的使用壽命及較高的穩(wěn)定性,保障光源在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行狀態(tài)下能夠持續(xù)穩(wěn)定的提供照明環(huán)境.
成本效益:選擇成本低,易根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)情況定制特殊形狀光源.
特定波長(zhǎng)需求:某些檢測(cè)可能需要特定波長(zhǎng)的光源,如UV-LED點(diǎn)光源適用于晶圓曝光和光刻工藝.